微电子无尘室生产施工准备要求

       施工人员进入洁净区应在更衣室穿好洁净服、洁净鞋，并应戴好内置式安全帽、一次性洁净口罩和一次性洁净手套，经风淋后进入洁净区，严禁从物流通道进入，进出洁净区流程应符合本规范要求。人员进出洁净区的流程示例，在实施中，当建设单位已建立人员进出洁净区管理制度时，应遵守建设单位的规定，这些规定都是为了无尘室的净化指标不受破坏而设置的。用于无尘室区安装设备的材料应符合下列规定，应无尘、无锈、无油脂，且在使用过程中不应产尘埃，设备垫板应按设计或设备技术文件要求制作；若无要求时，可用不锈钢板制作；对重量轻、无需调节水平度的非精密设备，也可采用厚度不小于6mm的硬PVC板制作；不锈钢膨胀螺栓应有产品合格证书；不锈钢化学锚固螺栓除应有产品合格证书外，还应有使用说明书。用于制作独立基础和地板加固的碳钢型材应经过热镀锌处理。用于嵌缝的弹性密封材料的化学成分应经建设单位批准，材料应有注明成分、品种、出厂日期、储存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书，不得使用过期产品。

用于管道氩弧焊的保护气体、压力试验的气体以及用于管道吹扫的气体，其纯度不得低于管网本底输送气体的纯度。进入无尘室的材料不得附着尘埃、铁锈、铜锈、油腻，并要求所用材料在使用过程中不生锈、不散发尘埃，避免破坏工艺环境。使用的紧固件、密封材料应有产品合格证都是为了同一目的，规定用作管道氩弧焊的保护气体、压力试验用气体、吹扫气体，其纯度不得低于管网本底气体的纯度，是为了保证焊接质量，防止对管道内腔造成污染。用于洁净区安装的机具应符合下列要求，洁净区使用的机具不得在非洁净区使用，非洁净区使用的机具也不得在洁净区使用；机具外露部分不应产尘埃，或具有防止尘埃污染环境的措施。机具搬入洁净区前应在室外擦洗干净，然后通过设备搬入口搬入气闸室或相当的场所进行最后的清洁处理，应达到无尘、无锈、无油垢的要求，并应在经检查合格后贴上“洁净”或“洁净区专用”标识搬入；为防止对无尘室区和开箱后的设备被污染，对在无尘室区内使用的机具需提出洁净要求。用于室外搬运的机具应符合下列要求，应选用性能良好、安全可靠的机具，机具规格、参数应能满足设备运输负荷及外形尺寸的要求；用于起吊设备的吊索应有足够的强度和韧性，在能够满足负荷要求时，应采用尼龙吊带或锦纶吊带；当尼龙吊带或锦纶吊带的承载能力不能满足起吊设备荷载要求时，应采用较柔软的钢丝绳外套尼龙软管的吊索。中净环球净化可提供无尘室、洁净室等的咨询、规划、设计、施工、安装、改造等配套服务。

    本文由中净环球净化CCG(www.ccg-sz.com)提供，转载请注明出处。