洁净室平面布置设计

平面布置：洁净室内的洁净生产间及相关设施有洁净生产间、洁净室用辅助间、管理区、公用动力设备区等，洁净辅助间包括人净用室、生活用室、物净用室、实验室和物料贮存用库房等，这些房间与洁净生产间关系密切，有的还有洁净度要求;管理区包括办公、技术管理、会议休息等房间，此类房间在洁净室内应尽量减少，并尽量设置在洁净室(区)外;公用动力设备区包括空调机房、冷冻机房、水或气净化用房、变配电室、排风机及排气处理设备间、生产用化学品供应间等，这类房间的设置通常与洁净室的规模、空气洁净度等级、气流形式、产品生产工艺要求等有关，目前许多洁净室的设计中均将此类设备用房全部或大部都与洁净生产厂房设置在同一幢建筑内统一布置，既可以减少管线、降低冷热损失和节约能源，又可方便管理。随着高新技术产品的不断涌现，特别是微电子技术、生物工程技术的日新月异发展，如超大规模集成电路集成度的提高、特性尺寸的缩小，空气洁净度、控制微粒粒径的日益严格，使洁净室的平面布置与空气净化方式、各种产品生产工艺要求和各种物料供应、公用动力供应方式等关系越来越密切。

洁净室的平面布置一般应符合下列要求:

应满足产品生产工艺和空气洁净度等级的要求,通常是顺应产品生产流程进行布置，尽量做到人流、物流的路线短捷，设备布置紧凑,并应符合有关的消防安全、卫生规定。根据不同产品的制造工序,合理确定各种空气洁净度等级分区规划:若有不同的压差要求时，还应按不同生产房间的压差要求确定洁净分区规。洁净室(区)内只布置产品生产所必要的工艺设备以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室，这样做的目的是尽可能地减少造价高、运行费用贵的洁净室(区)的面积，为此通常情况下是将与有空气洁净度等级要求的产品生产工序、工艺设备、工作室设置在洁净室(区)内，对于没有空气洁净度要求的产品生产工序、工艺设备、工作室以及公用动力设施均应设置在非洁净室(区) 内。在满足产品生产工艺和微振动、噪声要求等的前提下，宜将要求空气洁净度等级高的洁净室(区)靠近空气调节机房布置，空气洁净度等级相同的工序或工作室宜集中布置。洁净室(区)内要求空气洁净度高的工序应布置在上风侧，易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口的位置或下风侧。应考虑大型工艺设备安装、维修的运输路线，并预留设备安装口或检修口，为防止设备检修时对洁净生产区的污染，平面布置时要考虑便于维修管理，有时可设置维修区。为适应产品生产工艺的改进，生产线的改造和工艺设备的更新，平面布置时可根据产品生产工艺特点，要考虑采取适应今后工艺平面布置变更或工艺设备更新的必要措施。中净环球净化可提供洁净车间、洁净厂房等的咨询、规划、设计、施工、安装、改造等配套服务。

应根据洁净室内产品的品种、性能特点、生产工艺及其设备的情况和各生产房间的压差要求等合理地进行平面布置，应根据需要设置隔墙、单独布置、增设必要的闸间等。洁净室内应少设隔间，目前较多的洁净室采用大体量、大开间的平面布置，只有在下列情况下可进行分隔。需根据产品生产工艺要求进行分隔时，应按其要求进行分隔，并采取必要的防止污染的技术措施。洁净室的平面布置应合理安排好“4 个区域”洁净生产区、 洁净用辅助间、管理区、公用动力设备区的设置，尽力做到生产工艺布置合理、管理使用方便，各种管线尽量短，减少冷量、热量和电能的损耗，减少建设投资、节约能源、降低运行成本。如为防止人员、物料出入洁净室(区) 而产生，人净、物净同洁净辅助间是洁净室防止污染的基本功能区，在平面布置时须周密地考虑、合理布置并设有一定的空气洁净度要求，在洁净区的人流，物流入口应设有空气吹琳室、闸间或物料传递窗等。

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