净化洁净车间受控环境颗粒物沉积的测量

净化洁净车间测量颗粒物沉积的较佳方法是在已知时间内收集观测片上的颗粒物。

该方法是采用物性与所关注工艺或产品表面相近的、面积合适的观测片在规定的环境和工艺条件下收集沉积的颗粒物，经过足够长时间的采集后，用光学显微镜、电子显微镜或表面扫描设备，测量统计观测片上的粒子尺寸和数量。若采用颗粒物沉降光度计或光学颗粒物沉积测试仪可获得颗粒物沉降速率，沉积颗粒物的数值可用单位时间内单位面积上，颗粒物的数量、质量或浓度表示。

1.净化洁净车间颗粒物沉积测试程序

观测片与关注的易损表面应在同一平面，并且尽可能靠近。观测片与关注表面的电极性应一致。遵照以下程序进行操作：

(1)验证净化洁净车间或相关受控环境各方面的功能运行正常，符合测试规定要求。

(2)规定观测片的唯一性和洁净度，其表面颗粒物应尽量少，并通过检验确定各片的本底浓度，予以编号和记录。

(3)在保证传输过程中不产生表面污染的条件下，将观测片移送到被测位置。

(4)根据所处环境的洁净度、运行模式等因素，合理确定观测片的暴露时间。以保证有足够的量的粒子沉积在其上，使测量数据满足统计学的要求。如有必要，应调整暴露时间。

(5)采样终止后，使用清净的密闭容器保存观测片，防止在检测前受到二次污染。

(6)使用合理的设备，观测观测片上颗粒物数量和尺寸，并根据尺寸进行大致的分类。

将暴露前后所观测的浓度相减，即可得到沉积的净浓度。再除以暴露时间，就可得到颗粒物沉积速率R_D。中净环球净化可提供净化厂房、洁净车间的咨询、规划、设计、施工、安装改造等配套服务。

(7)计算R_D×D，再用公式PDC=lg(R_D×D)计算颗粒物沉积等级。

2.颗粒物沉积代测板材料

依据需待测的粒径、测量手段来确定代测板的用材：

(1)微孔滤膜；

(2)双面胶带；

(3)培养皿；

(4)含对比色(黑色)聚合物(如聚酯树脂)的培养皿；

(5)摄影胶片(薄片)；

(6)显微镜载玻片(普通片或带金属镀膜)；

(7)玻璃或金属镜片；

(8)半导体晶圆坯料；

(9)玻璃掩膜基片。

为了易于看到粒子，代测板的表面光洁度应与待测粒子的粒径相应。所用测量手段应能分辨并测量所关注的较小粒径。

3.颗粒物沉积测试设备

根据关注的颗粒物尺寸，常用的颗粒物沉积测试设备可分为以下几类：

(1)光学显微镜适用于测量≥2μm的颗粒物，可采用物镜上带有的线性和圆形网格来定标颗粒物的尺寸。

(2)电子显微镜可测量≥0.02μm的颗粒物，通常使用已知线对定标光栅来确定图像的实际尺寸。

(3)表面打描分析仅可测量≥0.1μm的颗粒物；颗粒物沉降仪可测量≥10μm的颗粒物，一般都依据生产厂而给出的定标信息，推测出观察片上的颗粒物数据。

4.测试报告或记录文件

可通过检测以获得指定区域的PDC，或者用于检查该区域是否满足对关注粒径的PDC。

测试工作结束后，以下信息和数据应被记录：

(1)测试单位的名称、通信方式、测量日期；

(2)测量条件和测量方法；

(3)所依据的标准或指南的代号、名称和年份；

(4)测量对象所在的洁净室及相关受控环境相关区域的位置，所有采样区域的坐标；

(5)需测量关键表面所处环境的洁净度等级、测试时的占有状态和关注的粒径。

(6)所用观测片的技术细节，即初始状态的检定结果及相应编号；

(7)观测片在测定位置暴露过程、时间等细节；

(8)用于确定观测片上颗粒物尺寸和分布的测量设备的细节与测量方法相关的特殊条件，设备鉴定和校准情况；

(9)测试结果，包括测量值是否符合的评价报告。

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