生产洁净厂房的特点及其要求

随着科学技术的发展，许多产品及其研制开发过程中都需要洁净的生产环境，在一些研究试验中也需要洁净或相关受控环境。其中微电子产品、医药产品等生产工艺的发展尤为迅速，大规模、超大规模集成电路和TFT-LCD液晶显示器的生产是微电子工业发展最快的产业，研发周期短，产品生产工艺和生产规模都发展极快，集成电路12in晶圆生产工厂在国内已建成多家，芯片线宽10nm的产品已在国内批量生产，国内已建成多家8代、10代或10.5代TFTLCD液晶显示器生产工厂。医药生物制品生产工艺日新月异，由于药品生产质量与人民健康密切相关，若生产过程受到微粒和微生物污染，一旦进入人体将直接影响人体健康，因此药品生产环境控制要求十分严格，日益受到人们的高度关注。

这些生产洁净厂房的主要特点是:对空气洁净度的要求十分严格，微电子工厂中的芯片生产核心区要求空气洁净度等级达到ISO1~3级，控制粒径小于0.01um，甚至更小的粒径。生产品生产过程的连续性、自动化传输以及生产速率的提高，要求产品用场地具有大空间大体量，一个洁净生产区的面积大且不可分割。如TFT-LCD液晶显示器生产线的一个洁净生产区面积可达数万平方米，我国近年投产的10.5代TFT-LCD液晶显示器生产用洁净室的面积超过10X10⁴m²。芯片生产用洁净厂房的洁净生产区面积达33000m²，洁净厂房高度为17.0~31.0m;薄膜晶体管液晶显示器件(TFT-LCD)生产用洁净厂房的洁净区面积达94000m²，洁净厂房高度为20~33.0m。这类洁净厂房的洁净生产区由于产品生产过程的连续性和自动化传输要求，一般是不可分割的，因此对厂房布置和消防疏散设计。并且这类洁净厂房均采用单向流洁净室，在洁净生产区的上部、下部设置上技术夹层、下技术夹层，有的还采用2个洁净生产区叠加布置，且各技术夹层还不能共用，因此洁净生产区的上技术夹层为其送风层，下技术夹层为其回风层。中净环球净化可提供洁净车间、无尘厂房等的咨询、规划、设计、施工、安装、改造等配套服务。

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