洁净净化厂房静电测试

洁净净化厂房内往往存在着不容忽视的静电，是导致电子器件、电子仪器和设备损坏或性能下降的重要因素之一，对芯片制造影响尤为严重。此外还是洁净净化厂房在生产过程中有特殊气体或粉尘产生导致存在影响，洁净净化厂房静电对尘埃的吸附效应也造成生产环境和产品各个壁面的尘埃聚集影响洁净净化厂房的环境和产品被污染。

1.相关的规范规定

洁净净化厂房相关规范对静电防护问题从设计到运行都有具体的规定。例如，洁净净化厂房设施应该选用那些既不会产生也不能蓄积大量静电的建筑材料，为保护对静电敏感的设备、器件，地面电阻应该在R_E=10⁴Ω~10⁷Ω范围内，表面聚集电荷的限定值应小于2kV等。

国家标准《洁净厂房设计规范》规定：洁净净化厂房地面层应具有导电性能并应保持长时间稳定，其地面表层应采用静电耗散性材料，其表面电阻应为1.0×10⁵~1.0×10¹²Ω或体积电阻率为1.0×10⁴~1.0×10¹¹Ω·cm。地面应设有导电泄放措施和接地构造，其对地泄放电阻应为1.0×10⁵~1.0×10⁹Ω等。不同标准在具体限值的数量上或略有差异，测试前宜与业主商定达标的限值。

2.静电测试方法

静电测试通常包括两部分内容：一是静电测试本身，其目的是掌握产品表面上的静电电荷和地面、工作台面或其他设施的静电电压的耗散率；二是离子生成器测试，其目的是通过监测器测量初始充电的放电时间，和通过测定隔开来的监测板的补偿电压来评估其性能。上述两部分测量结果都能反映清除或中和静电荷的效率和产生的正负离子量间的不稳定性。

3.表面电压水平的测量

通常采用静电压计或场强计测定设备和产品表面的正负静电荷，具体方法是把静电电压计或场强计的输出调节为0，按仪器说明书规定，让探测器面朝接地的金属板，探测头保持使测孔平行于所规定的某个距离处放置的板，记录静电压计的读值。

4.静电耗散性的测量

通过测量表面上不同位置之间的电阻---表面电阻和表面和地面之间的电阻---漏电电阻来评定静电耗散特性，一般采用高阻欧姆计来测量。

采用有足够重量和尺寸适当的电极来测量表面电阻和漏电电阻。测量表面电阻时，要注意电极位置与表面保持正确的距离。中净环球净化可提供洁净车间、净化厂房的咨询、规划、设计、施工、安装改造等配套服务。

5.离子生成器测试

本项测试的目的是用以评估双级离子生成器的性能，测试内容为测试放电时间和补偿电压，放电时间将用以计算离子生成器消除电荷的效率，补偿电压将用以评估在离子生成器生成的离子化气体中正负离子的不稳定性。离子的不稳定性会造成不利的残余电压。

测量工作由称之为“充电板监测器”的设备完成，该设备由导电监测板、静电电压计、计时器和电源等构成。

6.放电时间的测量

采用已知电容，例如20pF的绝缘导电板作为监测板，开始时用电源给监测板充电并达到已知的正或负电压，随后将监测板暴露在被评估的双级离子生成器离子化的气体中，用静电电压计测量板上的静电荷，同时以计时器配合测量板上电压随时间的变化。

放电时间的定义是监测板上的静电荷减少到100%初始电压所需的时间，由用户和供应商协商确定作为验收标准的测试点的位置和测定结果。

7.补偿电压的测量

采用类似的监测板装在绝缘器上，用静电电压计监测绝缘板上的电荷，以测量补偿电压。开始时将板接地去除残余电压，确认板上的电压为0，随后把板放在离子化的气体中，直到电压计的指示值达到稳定为止，该值即为所测的补偿电压。

至于离子生成器的允许补偿电压取决于工作区的物体对静电荷的敏感性，所以允许的补偿电压应由用户与供应商协商确定。

8.测试报告

测试报告需要包括的内容应有：

(1)仪器使用者或数据收集设备的名称；

(2)测试仪器的名称及其校准状态；

(3)测试和测量类型和测量条件；

(4)温度、湿度和环境数据；

(5)测点位置；

(6)洁净净化厂房所处的状态。

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