无尘厂房的排风及排气处理

无尘厂房的排风及排气处理主要包括一般排风系统、热排风系统、酸性排风系统、碱性排风系统、特种气体排风系统、有机排风系统等。各种排风系统排出的气体中所含物质及其浓度不同，且排出气体中所含物质的物化性质常常决定了排气系统的形式、组成和处理方法，特别是近年来电子工业中集成电路、光电显示器等的制造过程使用数十种特种气体、高纯化学品。使用这些物质的生产设备排出的气体中含有氧化性、腐蚀性、酸性、碱性等物质，有些工艺生产设备排出的气体中物质的浓度还较高，并且这些物质常常对人体伤害大，远超过卫生标准规定的“限值”；所以在设置有此类生产工艺设备的无尘厂房内将排风系统分为集中或中央气体处理系统和现场气体处理装置或尾气处理设备。通常将尾气处理设备设在相关的生产工艺设备邻近处或无尘厂房的下技术夹层内，工艺设备的排气管以很短的距离排入尾气处理装置进行相应方法的处理，达到要求或可达到的浓度后再经排气管道输送至集中废气处理装置。经过相应方法的处理去除达到规定的排放标准后排放至大气，目前电子工业无尘厂房中的一些生产工艺设备可配套提供尾气处理装置。

一般排风系统主要用于满足房间通风换气次数的要求和一般工艺设备排风的要求。风管通常采用镀锌铁皮制作，风管断面有矩形和圆形，矩形金属风管的制作，圆形风管通常采用螺旋风管或铁皮卷制，螺旋风管一般由专门厂家生产，包括三通、弯头、大小头、偏心管等。圆形螺旋风管通常采用角钢活套法兰的形式及无法兰形式连接。无论是矩形风管还是成品的螺旋风管，其制作标准都须符合现行相关规范的要求。纯水站、污水处理站、动力站、变电站、空调机房等动力辅助用房应设置一般排风系统；无尘厂房的换鞋间、卫生间、真空泵房等与无尘厂房相关的功能房间应设置一般排风系统。热排风系统主要用于工艺设备的散热排风，热排风系统一般都单独设置，不得与酸性或碱性排风、特种气体排风、有机排风等系统连接混合排气，风管须保证与周边环境的安全距离。若热排风风管对设备、管线等部位或对无尘厂房的温湿度造成影响时，宜对排风管进行保温处理。热排风一般不需要进行处理就可直接排入大气，系统材质采用镀锌钢板。碱性气体排风系统主要用于生产工艺设备排出的含有碱性污浊物质的排气，一般经排风管道集中输送至填料洗涤塔进行处理达标后方可排放；风机应采用玻璃钢风机，变频控制，排风管末端应设置压差传感器与对应风机联锁。中净环球净化可提供净化车间、洁净厂房等的咨询、规划、设计、施工、安装、改造等配套服务。

酸性气体排风处理系统主要用于生产工艺设备等排出的含有酸性污浊物质的排气，由于产品生产工艺不同，在依据生产工艺要求使用各类酸性化学品反应后排出的气体中酸性物质的浓度会有不同。集中的酸气体系统应采用填料洗涤式设备，有机物气体处理系统主要用于生产工艺设备排出的含有挥发性有机物质的排气，这类排气中含各种不同碳氢化合物形态的有机物质，基本上均属于可燃、有刺激气味的气体，对作业人员的健康、环境空气质量影响大，应合理采用不同的处理方法对其进行处理。据了解，目前在微电子无尘厂房中当挥发性有机物的浓度不超过50mg/m³时，可采用活性炭吸附法;不超过1000mg/m³时，宜采用转轮浓缩法等;高于1000mg/m³时，宜采用热氧化法。

基本要求：无尘厂房的排风与特种气体处理是确保产品生产环境和空气洁净度要求的重要环节，为使排风与气体处理设备的施工质量真正做到满足产品生产要求，GB51110中提出了排风、排风系统的材料、附件和设备应符合工程设计图纸的要求。由于无尘厂房的排风与特种气体处理系统排出的排气都程度不同地对环境或公共卫生有一定的影响，所以排风与特种气体处理系统所用的材料、附件和设备除应符合工程设计文件的要求外，还应遵守相关环境保护、公共卫生方面国家现行标准规范的规定。排风、排风系统的施工材料、附件和设备应具有产品合格证书和进入施工现场应办理的手续、质量记录等。这些均为确保排风、排风系统施工质量的基本条件。对于排风与特种气体处理施工中的隐蔽工程，应经过验收并做好记录后再进行隐蔽。排风系统应按风管内的排气类型及其介质种类、不同浓度进行管道涂色标识，对人体健康有影响的排风应作出特殊标识;管路应标明流向，这是避免隐患和确保排风与特种气体处理系统正常、安全可靠运行和维修管理的要求。鉴于排风与特种气体处理系统与净化空调系统的关联性和各排风系统与产品生产工艺的关联性、独立性，所以排风系统的调试与试运转应与净化空调系统同步进行，各个气体处理与排风系统应分别单独地进行调试和试运转。

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