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净化洁净厂房表面洁净度符合性的规程

作者: 深圳市中净环球净化科技有限公司发表时间:2022-12-06 18:06:32浏览量:354

净化洁净厂房表面洁净度符合性的规程 根据用户方的要求,并经双方商定后的净化洁净厂房表面洁净度的符合性,需要经过测试,并用包括测试条件和测试结果的报告予以证明。 洁净室及相关受控环境某具体场所的表面...
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净化洁净厂房表面洁净度符合性的规程

根据用户方的要求,并经双方商定后的净化洁净厂房表面洁净度的符合性,需要经过测试,并用包括测试条件和测试结果的报告予以证明。

洁净室及相关受控环境某具体场所的表面洁净度符合性的验证测试,应采取适宜的测试方法和使用在有效校准期内的合适仪器进行测试。由于情况较复杂,未知干扰因素较多,宜重复测量多次,以给出可靠的结果。

因静电作用会增多表面的粒子沉降或附着,测试前通常应事先采取措施降低测试区范围的静电荷。如非导电表面也未接地或中和电荷就可能产生静电电荷,以至可能影响测试结果。

1.净化洁净厂房表面特性、粒子形状等影响因素

在确定表面洁净度分级测试方法和相应测量仪器之前,须对被测表面的特性以及可能沉降和附着其上的粒子的性状,都应有所了解、分析和判定,这是顺利完成测试工作的必要条件。这些特性的判定技术,应该说并非洁净室及相关受控环境普通工作人员所须掌握的。为做好表面洁净度分级测试工作,需要其他专业的技术人员予以支持和帮助。

1.1被测试表面特性

影响测试结果的被测试表面的物理、化学特性主要包括:

(1)表面能量状态,例如:表面的内聚/黏附特性或亲水/疏特性。因为这些特性会影响粒子的吸引和剥离。

(2)表面的孔隙率。一般来说孔隙率越高,表面本身的瑕疵与附着粒子的区分越困难,而光洁平滑的表面较为简单。

(3)表面的粗糙度、波纹度。一般情况下越粗糙、越不平滑的表面,直接探测粒子较困难,采用间接法时剥离粒子的效率也受影响。

(4)表面的可清洁性。如果表面本身难以清洁,粒子探测与表面自身瑕疵的区分往往复杂,而易于清洁的表面则容易。

(5)表面光学特性。若采用直接测试法测量时,待测表面的不同光学特性,将产生不同的测量结果。因此选取测量方法时须关注表面自有的光学特性。

(6)表面的电磁特性。表面的静电特性或磁特性,对带静电和带磁性的颗粒物可产生吸引作用,影响与其的剥离。

1.2粒子的形状

(1)粒子本身的外形和电磁特性,可能影响测量结果。

(2)粒子形状的其他影响:如从表面剥离出的长形粒子和圆形粒子,其光学粒子计数器的测值可能相同,但其重力值完全不同。一般长宽比大于或等于10的粒子认作为纤维。

1.3某些表面特性的测试方法

表面特性是选择表面洁净度分级测试方法的重要依据,一般应将表面特性的判定结果反映在洁净度分级测试报告中,作为辅助说明。

(1)粗糙度

表面粗糙度对表面的许多物理特性都有影响。粗糙度存在两个基本平面:表面所在的平面视为“质地”,与表面呈直角的平面,其特性可用高度描述。通常以波纹度描述表面粗糙度的特性。

测定粗糙度常用的光学方法是使用显微镜法(光学、共聚焦、干涉法等)。测量粗糙度的机械方法是使用触针式仪器。可参考《产品几何技术规范(GPS)表面结构 轮廓法评定表面结构的规则和方法》。

(2)孔隙率

孔隙率是对材料内中空空间的量度,以0~100%间的百分数表示。总体积中流体能有效地在其中流过的那部分体积(不包括不相连的空孔洞或空穴)占总体积的比率,称之为有效孔隙率,也称为开孔率。中净环球净化可提供洁净厂房、净化车间的咨询、规划、设计、施工、安装改造等配套服务。

直径≥50nm的孔称为大孔,流体流经大孔是以体相扩散形式出现的;2nm≤直径<50nm的孔,称为介孔;直径<2nm的孔称之为微孔,微孔中的流体运动属于活性扩散。

测定孔隙率的方法有:体积/密度法较简单。用材料重量除以材料密度,即可得出减去孔的容积后材料所占据的体积。其精度一般在实际孔隙率的±20%以内,此外还可采用水饱和法、压汞法。对于精细孔隙率还可以采用氮气吸附法。

净化洁净厂房

1.4静电

此处的静电是指材料表面上电子不平衡产生的电荷。这种电子不平衡产生的静电场会影响表面洁净度的测定,特别是对表面粒子采用间接测量方法时。测量待测表面的静电放电(ESD)特性,有助于评估其对表面粒子剥离影响。

2.净化洁净厂房表面洁净度测试报告

各规定测试表面的测量结果,以综合报告的形式提交,并说明与要求的表面洁净度(SCP)等级相符与否。测试报告至少应包括以下各项:

(1)基本资料

测试日期和时间;

测试单位的名称,资质,地址;

测试人员姓名,职称。

(2)参照文件

所参照标准、指南、规定及相应的出版编号。本部分的编号为:《洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级》。

(3)环境状况

采样时环境状况(温度、湿度、洁净度等);

间接法测量时环境条件(温度、湿度、洁净度等);

测量所在位置(房间等)。

(4)样本资料

对测试对象的清楚识别;

对测试对象的详细说明;

测试样本的图样和草图;

测试方案。

(5)测试方案的说明材料

a.测量设备

所采用仪器和装置的型号、出厂日期等,及有效期内的校准证书;仪器的测量范围、量程、精度等。

b.测试工作

所用测试方法的相关详情,对偏离测试方法的可用数据的说明;所测表面的明确位置和面积,并注明表面具体坐标;

采样前的表面条件(如清洁后,包装后,处于大气和真空环境等);

规定的检测和测量步骤、方法;

采样及测量期间的室内占用状态;

所有商定的文件(如原始数据,背景粒子浓度,图片,清洁和包装);

使用间接方法时,采样持续时间、地点和位置;

直接测量时持续的时间和位置;

测量或采样期间值得关注的观测结果(如适用);

所进行的测量次数。

c.测试结果与分析

测量值和对测量值的分析;

数据质量说明;

所进行的全部测试结果,包括给定的粒径粒子浓度值;

按粒子浓度划分的表面洁净度,以SCP N 级表示;

洁净度表面的验收标准,如供需双方事先有约定。

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2022-12-06 354人浏览
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