洁净室车间如何进行静电测试？

静电测试的目的是确定静电荷电位的基准、表面电阻特性、电离器电荷中和系统的有效性；测试由4部分组成：静电荷电位测量、表面电阻测试、电离器放电时间测试、电离器剩余电压测量；静电荷电位测量确定在测试区内的物体上产生的静电荷电位，实现这一点就要测量表面电压或电荷生成的电场，表面电阻测试测定物体在接地时可否有效耗散静电荷，它还测定其是否已接地，测量表面电阻和表面对地电阻，就可评估出静电耗散特性。电离器放电时间测试与电离器剩余电压测量与电离器的性能有关，该电离器是用来中和无法接地的或绝缘体的表面电荷，进行这些测试是测量初始充电的孤立金属板的放电时间，以及测定初始未充电孤立金属板的剩余电压，每项测量的结果说明中和静电荷的效率以及所产生的正、负离子间的不平衡。

表面电阻测量，以正确的间距将两个电极设置在表面上，可用具有合适输出电压的欧姆计测量表面电阻，欧姆计须能够以10V和100V进行测量，记录下每个规定测量点的测量值；将一个电极接地，另一个电极应按生产商的建议放置在表面上，可用具有合适电压输出的欧姆计测量表面电阻，记录下每个规定测点的测量值。离子发生器测试：电离器性能以测量放电时间和剩余电压来评定的，在电离气流中的正、负离子的不平衡，是以剩余电压测量来测定的，电离器消除静电荷的效率是由测量放电时间来确定的；工业标准中规定的测量电离器性能的仪器为带电板检测器，基本组成是一个已知电容量的孤立导电板，将板充电至已知电压或使其电压为零的电源，可测量板上的电压及其达到预置水平的时间的测量手段；将CPM放在规定的测量点，用电源将孤立的导电板充电到已知正电压；随着板上的静电荷被电离器所减少，测量该板上的静电压将至10%初始电压的时间，在每个规定的测量点记录测量值；将板充电至已知负电压，在每个规定的测量点记录测量值。中净环球净化可提供洁净室、净化车间的咨询、规划、设计、施工、安装、改造等配套服务。

洁净室表面电荷电位测量：选择测试仪器依据待测物体是绝缘体还是导体以及其物理尺寸，手持仪器探头，其距接地的金属板的距离按生产商的规定，将静电计或场强计的读数调为零；手持探头使之与金属板平行，金属板的表面积应该足够大，适合于所要求的探头开口，且金属板足够大，有合适的探头与表面间距比率；使探头接近物体表面，并用静电计测量导体的表面电压，或用静电场强计测量绝缘体或导体的电场，记录每个规定测点的测量值。剩余电压测量：将CPM放在规定的测量点，将孤立的导电板接地以消除残余电荷，如需要将CPM读数调为零，断开接地连接；允许孤立的金属板有充分的时间从电离器获得电荷，且读数稳定，记录下剩余电压，有些电离器正常运行时会从正电跳至负电，这种情况下，记录下剩余电压的最大正电和最大负电读数。

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