洁净室净化空调系统划分与设备配置要求

       净化空调系统的划分洁净室的净化空调系统除了控制受控环境的温度、相对湿度外更重要的是要控制洁净区内的空气洁净度、压力或静压差;净化空调系统的空气处理过程包括热、湿处理和净化处理(经粗效、中效或亚高效、高效或超高效过滤器过滤)，还要根据产品生产工艺要求设置过滤器或淋水器等;净化空调系统送风、回风的气流组织应有利于减少尘粒的扩散，避免洁净气流受污浊，以确保输送至洁净工作区的空气洁净度。净化空调系统所采用的净化空调设备、风管及其附件、密封材料的材质按洁净度等级的不同有严格的要求。洁净区的净化空调系统一般风量较大、风压较高，能耗较大、运行费用高，在系统安装后，应按规定进行严格的调试、性能测试，并经性能评价达到合格要求。洁净室净化空调系统的划分应考虑满足产品生产工艺要求、适应生产工艺特点的需要，防止产品生产过程的交叉污染和由此对产品质量或工作人员身体健康的影响，有利于产品生产过程的安全运营，避免可能诱发不安全因素的形成，方便运行管理，降低系统整体或全部运行能量消耗，减少设备、管路投资等多种国素。在国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》中对净化空调系统划分的规定是，具有下面情况之一者，净化空调系统宜分开设置。净化空调系统的设置方式洁净室中的净化空调系统有集中设置方式和分散设置方式，集中设置方式是将空气处理机组(AHU)集中设在空调机房内，在空调机组内集中进行初效、中效或亚高效空气过滤净化和热、湿处理，然后由送风管道输送至洁净区的吊顶上部，经过设在顶棚上的末端高效空气过滤器或高效过滤器送风口进行终端净化送入洁净区，实现产品生产工艺对洁净度、温度，相对湿度和压力的要求。

洁净区回风经回风口、回风管再返回至空调机房的空调机组内与新风混合，重复进行热、湿处理和净化处理。这类集中式系统可有全新风(直流系统)方式，一次回风方式和一、二次回风方式以及MAU+RAU方式等。集中送风方式采用数台大型新风机组和净化循环机组集中设置在空调机房内，空调机房可位于洁净区的侧而或顶部；经过温度、湿度处理和过滤后的空气由离心风机或轴流风机加压通过风管送入送风静压箱，再经由高效过滤器或超高效过滤器过滤送入洁净区。回风经格栅地板系统流入回风静压箱，再回到净化空调系统的循环系统，如此反复循环运行。隧道洁净区送风方式这种送风方式一般把洁净室划分为生产核心区、维护区。生产核心区要求高洁净度等级和严格的温、湿度控制，设在单向流送风区内;维护区要求较低，设置生产辅助设备或无洁净要求的生产设备尾部和配管配线等。生产区为送风区，维护区为回风区，构成空气循环系统。一般隧道式送风由多台循环空气系统组成，所以其中一台循环机组出现故障不会影响其他区域的生产环境洁净度等级,并且各个循环系统可根据产品生产需要进行分区调整控制。洁净区的回风经维修区与新凤处理装置(MAU)处理后的新风混合，由循环空气处理装置送入送风静压箱，通过空气过滤器送入洁净生产层。洁净区的回风经表冷器降温后与处理后的新风混合，通过FFU增压、过滤送入洁净生产层。风机过单元送风方式这是在洁净区的吊顶上安装多台风机过滤单元机组，FFUD、构或净化循环机组，不需要配置净化循环空调机房，送风静压箱为负压，空气由FFU送到洁净室。中净环球净化可提供洁净车间、无菌车间等的咨询、规划、设计、施工、安装、改造等配套服务。

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