无尘洁净室测试检测方法

洁净室风量测定：对于单向流洁净室，采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量，离高效过滤器0.3m，垂直于气流的截面作为采样测试截面，截面上测点间距不宜大于0.6m，测点数不应少于5个，以所有测点风速读数的算术平均值作为平均风速。对于非单向流洁净室，采用风口法或风管法确定送风量。风口法是在安装有高效过滤器的风口处，根据风口形状连接辅助风管进行测试，即用镀锌钢板或其他不产尘材料做成与风口形状及内截面相同、长度等于2倍风口长边长的直管段，连接于风口外部；在辅助风管出口平面上，按最少测点数不少于6点均匀布置；对于风口上风侧有较长的直管段且已经或可以钻孔时，可以用风管法确定风量，测量断面应位于大于或等于局部阻力部件前3倍管径或长边长，局部阻力部件后5倍管径或长边长的部位；对于圆形风管，应根据管径大小，将截面划分成若干个面积相同的同心圆环，每个圆环测4点，根据管径确定圆环数量，不宜少于3个；对于矩形风管，将测定截面分割成若干个相等的小截面，每个小截面尽可能接近正方形，边长不应大于200mm，测点应位于小截面中心，但整个截面上的测点数不宜少于3个。

洁净室温湿度测定:根据温度和相对湿度波动范围，应选择相应的具有足够精度的仪表进行测定，每次测定间隔不应大于30min。室内测点布置：送回风口处；没有恒温要求的洁净室中心；恒温工作区具有代表性的地表；测点一般应布置在距外墙表面大于0.5m，离地面0.8m的同一高度上，也可以根据恒温区的大小，分别布置在离地不同高度的几个平面上；有恒温恒湿要求的洁净室，室温波动范围按各测点的各次温度中偏差控制点温度的最大值，占测点总数的百分比整理成累积统计曲线，如90%以上测点偏差值在室温波动范围内，为符合设计要求，反之为不合格；区域温度以各测点中最低的一次测试温度为基准，各测点平均温度与超偏差值的点数，占测点总数的百分比整理成累积统计曲线，90%以上测点所达到的偏差值为区域温差，应符合设计要求，相对温度波动范围可按室温波动范围的规定执行。中净环球净化可提供无尘室、洁净室的咨询、规划、设计、施工、安装、改造等配套服务。

静压差的测定应在所有门关闭的条件下，由高压向低压，由平面布置上与外界最远的里间房间开始，依次向外测定，采用的微差压力计，其灵敏度不应低于2pa；有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室，其洞口处应有合理的气流流向。泄漏量检测：高效过滤器的检漏，应使用采样速度大于1L/min的光学粒子计数器，采用粒子计数器检漏高效过滤器，其上风侧应引入均匀浓度的大气尘或含有其他气溶胶尘的空气；高效过滤器的检测采用扫描法，在过滤器下风侧用粒子计数器的等动力采样头，放在距离被检部位表面20-30mm处，以5-20mm/s的速度，对过滤器的表面、边框和封头胶处进行移动扫描检查；泄漏率的检测应在洁净设计风速的条件下进行，将受检高效过滤器下风侧测得的泄漏浓度换算成透过率，高效过滤器不得大于出厂合格透过率的2倍。

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